クリーンルームの湿度管理方法：最適な環境を保つ手順
概要
クリーンルームは、電子機器、化粧品、バイオ医薬品など、さまざまな製品が安全かつ確実に製造されるよう、厳密に管理された環境です。製品ごとに最適な相対湿度（RH）は異なりますが、一般的には湿度を 35〜65% に保ち、温度は 70°F（約21°C）未満に維持する必要があります。湿度管理には、空調機、除湿剤、エアスクラバーなどの装置が用いられます。
必要な機材
- エアコンディショナー（空調機）
- 除湿剤（デシカント）
- エアスクラバー
手順
空調システムの設置：空調はクリーンルーム内の空気流を冷却し、露点以下に温度を下げることで表面への結露を防ぎます。余分な水蒸気は凝縮して除去され、乾燥した空気が供給されます。
除湿剤の導入：除湿剤は空気中の水分を直接吸収します。湿った空気が除湿剤を通過すると、内部の媒体が水分を取り込み、除湿された空気がクリーンルームへ戻されます。除湿剤式除湿機は、0°F（約-18°C）以下の露点を実現できます。
エアスクラバーの設置：製造工程で油脂や蒸気などの液体廃棄物が発生する場合、エアスクラバーが有効です。これらの廃棄物は湿度を上昇させ、汚染リスクや化学反応の制御困難、静電気の発生リスクを高めます。エアスクラバーはそれらの排出物を中和・除去し、湿度上昇を抑えます。
ヒト要因の管理：クリーンルームはクラス 100、クラス 1,000、クラス 10,000 などに分類され、許容される粒子数が決まっています。例えばクラス 100 では 1 立方フィート（約0.0283 m³）あたり 0.5 µm 以下の粒子が最大 100 個までです。人は静止状態でも 1 分間に最大 10 万個の粒子を放出します。動く人数が増えると、皮膚片や汗滴、化粧品の微粒子などが空気中に拡散し、汚染リスクが大幅に上昇します。したがって、作業者の動きを最小限に抑え、適切な防護服を着用させることが重要です。